特許
J-GLOBAL ID：200903047068356255
レーザ加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-152950
公開番号（公開出願番号）：特開平5-000390
出願日： 1991年06月25日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：
【要約】【目的】レーザ光をスリットにより整形して対物レンズで集光、照射して加工するレーザ加工装置において、レーザ光がスリットで吸収されて発熱することによる影響を防止し、レーザ加工の微細化、高精度化をはかる。【構成】加工光学系は、ダイクロイックミラー104、放熱の手段をもつスリット105、断熱材106、集束レンズ107、照明光源110、参照光源111、CCDカメラ112、画像処理装置113、モニタ画面114によって構成される。
請求項（抜粋）：
レーザ発振器から発振されたレーザ光を所望の形状に整形し、被加工物上に対物レンズで集光投影して加工するレーザ加工装置において、前記レーザ光を所望の形状に整形する手段に放熱または冷却の手段を設けたことを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (2件)：
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