インクジェット塗布装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-315211
公開番号（公開出願番号）：特開2004-148180
出願日： 2002年10月30日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：

【課題】従来にインクジェットヘッドを用いた塗布装置では、ノズル位置のばらつき、吐出量のばらつき等に対する補正が行われておらず画質の低下を招いていた。【解決手段】インクジェットヘッドの吐出量、吐出角のばらつき等を計測し、その計測結果に基づいて、ノズルの駆動電圧の補正、ヘッドの高さ補正、ノズルの回転方向の補正等を行い、画素毎にノズルが所定量の塗布材料塗布することができるようにした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

塗布材料を吐出する吐出孔を複数有し、前記吐出孔毎に塗布材料を吐出する吐出手段を備えたインクジェットヘッドと、塗布領域が区分されて形成されている基板を設置し、前記インクジェットヘッドの塗布位置に基板を移動するための駆動機構を備えた基板吸着テーブルと、前記基板上の試験領域に前記インクジェットヘッドから塗布材料を吐出して、その吐出状態を検出する検出器と、前記検出器の検出結果に基づいて塗布条件を補正する補正手段を設けたことを特徴とするインクジェット塗布装置。

IPC (6件)：

B05C5/00 , B05C11/10 , B41J2/01 , H01L41/09 , H05B33/10 , H05B33/14

FI (6件)：

B05C5/00 101 , B05C11/10 , H05B33/10 , H05B33/14 A , B41J3/04 101Z , H01L41/08 K

Fターム (28件)：

2C056EB27 , 2C056EB29 , 2C056EC08 , 2C056EC33 , 2C056EC42 , 2C056EC72 , 2C056FA15 , 2C056FB01 , 3K007AB17 , 3K007AB18 , 3K007BA06 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4F041AA02 , 4F041AB01 , 4F041BA13 , 4F041BA22 , 4F041BA38 , 4F042AA02 , 4F042AA06 , 4F042AA27 , 4F042AB00 , 4F042BA08 , 4F042BA10 , 4F042BA21 , 4F042CA09 , 4F042CB10 , 4F042DH09

引用特許：

審査官引用 (7件)

カラーフィルタの製造方法及び製造装置及びカラーフィルタ及び表示装置及びこの表示装置を備えた装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-230041 出願人：キヤノン株式会社
インクジェット記録方法及び装置及びカラ-フィルタ及び表示装置及びこの表示装置を備えた装置及びインクジェットヘッドユニットの調整装置及び調整方法及びインクジェットヘッドユニット
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-076864 出願人：キヤノン株式会社
特開平2-208049

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