特許

J-GLOBAL ID：200903047091200157

静電チャック

発明者： 三上 一彦 ,  会田 比呂史 ,  伊東 裕見子
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-032155
公開番号（公開出願番号）：特開平10-229117
出願日： 1997年02月17日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】【課題】200°C以下の温度域においてジョンソン・ラーベック力による高い吸着力が得られるとともに、吸着面における被吸着物の位置決め時の当接、摺動に伴う摩耗や、ハロゲンガス、エッチングエネルギーに対する腐食によるパーティクルの発生の少ない静電チャックを提供する。【解決手段】静電チャックの吸着面を、チタンを1〜8重量%含有してなる窒化アルミニウム膜により形成する。

請求項（抜粋）：

被吸着物に対する吸着面を、1〜8重量%のチタンを含有してなる窒化アルミニウム膜により形成したことを特徴とする静電チャック。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H02N 13/00

FI (2件)：

H01L 21/68 R ,  H02N 13/00 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-003956
  
• 特開平2-022166
  
• 特開平4-003956
  
• 特開平2-022166