特許
J-GLOBAL ID：200903047091650861
干渉計用複合光学素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
根本 進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-127311
公開番号（公開出願番号）：特開平8-297212
出願日： 1995年04月26日
公開日（公表日）： 1996年11月12日
要約：
【要約】【構成】 入射光L1を試料光L3と参照光L2とに分割可能な偏光ビームスプリッタ3と、その試料光L3と参照光L2とを干渉させて干渉縞を生成する光学系を構成する光学素子4、6、7、10、12とが一体化されている。【効果】 アライメント調整を簡略化できる。干渉計が小型軽量で剛性が大きくなる。アラインメント調整のための設備の持ち込みが困難な箇所で干渉計が使用できる。
請求項（抜粋）：
入射光を試料光と参照光とに分割可能な偏光ビームスプリッタと、その試料光と参照光とを干渉させて干渉縞を生成する光学系を構成する光学素子とを備え、その偏光ビームスプリッタと光学素子とは一体化されていることを特徴とする干渉計用複合光学素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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