特許

J-GLOBAL ID：200903047096447924

パターン抽出方法、パターン抽出装置、微小異物形状測定方法、微小異物形状測定装置、ホール中央部の穴径測定方法、ホール中央部の穴径測定装置、ホール段差測定方法及びホール段差測定装置

発明者： 藤井 孝佳
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-187032
公開番号（公開出願番号）：特開2001-012923
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】【課題】高精度、かつ、高速度な処理を行うことができるホールパターン抽出方法を提供することを目的としている。【解決手段】画像データのヒストグラムを求めるヒストグラム処理工程(ST102)と、ヒストグラムを三つのクラスに分離する2つの濃淡値を検出し、これら2つの濃淡値をヒストグラムのしきい値として設定するしきい値設定処理工程(ST103)と、画像データを、2つのしきい値の間の濃淡値区間とその他の部分の濃淡値区間とに二値化処理して、背景部とホール部の2つの濃淡領域からなる画像データとする二値化処理工程(ST104)と、ホール部を所定の回数1画素ずつ拡大し、複数に分かれているホール部のうち近傍にあるものを一体化する拡大処理工程(ST105)と、前記ホール部をそれぞれラベリング処理により選択し、予め設定されたパターン特徴を備えるホール部を抽出するホール検出処理工程(ST107)とを備えている。

請求項（抜粋）：

画像取得手段で得られた画像データに基づいて被観察対象物上に形成されたパターンを抽出するパターン抽出方法において、前記画像データを構成する画素をその濃淡値に応じて分類することによりヒストグラムを求めるヒストグラム処理工程と、前記ヒストグラムを三つのクラスに分離する2つの濃淡値を検出し、これら2つの濃淡値を前記ヒストグラムのしきい値として設定するしきい値設定処理工程と、前記画像データを、前記2つのしきい値の間の濃淡値区間とその他の部分の濃淡値区間とに二値化処理して、背景部と所定部の2つの濃淡領域からなる画像データとする二値化処理工程と、前記所定部を所定の回数1画素ずつ拡大し、複数に分かれている所定部のうち近傍にあるものを一体化する拡大処理工程と、前記所定部をそれぞれラベリング処理により選択し、予め設定されたパターン特徴を備える所定部を抽出する検出処理工程とを備えていることを特徴とするパターン抽出方法。

IPC (7件)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/08 ,  G01B 11/22 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  G06T 7/60 ,  H01L 21/66

FI (7件)：

G01B 11/24 K ,  G01B 11/08 H ,  G01B 11/22 H ,  G01N 21/88 J ,  H01L 21/66 J ,  G06F 15/62 405 B ,  G06F 15/70 350 Z

Fターム (102件)：

2F065AA12 ,  2F065AA25 ,  2F065AA27 ,  2F065AA49 ,  2F065AA51 ,  2F065AA58 ,  2F065BB05 ,  2F065CC17 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ09 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ30 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ42 ,  2F065QQ43 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB20 ,  2G051CA03 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EA23 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC01 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03 ,  2G051ED03 ,  2G051ED07 ,  2G051ED14 ,  2G051ED15 ,  2G051ED23 ,  2G051FA10 ,  4M106CA39 ,  4M106CA43 ,  4M106CA48 ,  4M106DB05 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ13 ,  4M106DJ14 ,  5B057AA03 ,  5B057BA30 ,  5B057CE02 ,  5B057CE03 ,  5B057CE05 ,  5B057CF01 ,  5B057CF02 ,  5B057CH09 ,  5B057DA08 ,  5B057DB02 ,  5B057DB08 ,  5B057DC03 ,  5B057DC04 ,  5B057DC06 ,  5B057DC09 ,  5B057DC23 ,  5L096EA02 ,  5L096EA05 ,  5L096EA06 ,  5L096EA43 ,  5L096FA37 ,  5L096FA59 ,  5L096FA60 ,  5L096FA64 ,  5L096FA65 ,  5L096GA34 ,  5L096GA51 ,  5L096GA55 ,  9A001BB01 ,  9A001BB03 ,  9A001BB04 ,  9A001BB05 ,  9A001DD02 ,  9A001GG01 ,  9A001GG05 ,  9A001GG11 ,  9A001GG13 ,  9A001HH20 ,  9A001HH21 ,  9A001HH23 ,  9A001HH24 ,  9A001HH25 ,  9A001HH28 ,  9A001HH29 ,  9A001KK02 ,  9A001KK31 ,  9A001KK37 ,  9A001LL02 ,  9A001LL05