特許
J-GLOBAL ID：200903047100227411
フィルム張付装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松山 圭佑 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-327033
公開番号（公開出願番号）：特開平8-183149
出願日： 1994年12月28日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：
【要約】【目的】 フィルム張付装置において、フィルムがフィルム吸着手段を備えた仮付け部材によって加熱され、感光性樹脂層の厚さむら、熱履歴の差、基板への付着厚さむらを起こすことを防止する。【構成】 仮付け部材6におけるメインバキュームプレート28に、パイプ52を挿通し、その内部の通水孔54に冷却液を通してメインバキュームプレート28の温度上昇を抑制する。
請求項（抜粋）：
透光性支持フィルム上に感光性樹脂層及びカバーフィルムが積層されてなる連続フィルムをフィルム供給ロールから引き出し、少なくとも透光性支持フィルムと感光性樹脂層とが積層した状態で、搬送手段により搬送されてくる基板の先端に、感光性樹脂層側が該基板側に位置するようにして導き、該基板に対して近接及び離反移動可能な仮付け部材により該基板の先端に仮付けした後、ラミネーションロールにより、フィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送するようにされ、前記仮付け部材は、フィルム経路に沿って表面にフィルム吸着手段を備えたメインバキュームプレートと、このメインバキュームプレートのフィルム送り方向先端に連結され、前記メインバキュームプレートの表面から連続して湾曲し、且つ表面にフィルム吸着手段を備えたフィルム仮付け部材本体と、を含んでなり、前記フィルム仮付け部材本体のフィルム送り方向先端近傍がヒータにより加熱されるフィルム張付装置において、前記メインバキュームプレートの内部に、表面と平行に貫通し、冷却液が通される通液孔を設けたことを特徴とするフィルム張付装置。
IPC (3件)：
B32B 35/00
, B29C 63/02
, B32B 31/10
