特許

J-GLOBAL ID：200903047101962930

回路パターン検査装置及び検査方法

発明者： 金 田 憲 明 ,  田 中 正 史
出願人/特許権者： 株式会社アドテックエンジニアリング
代理人 (1件)： 高橋 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-321207
公開番号（公開出願番号）：特開平6-148253
出願日： 1992年11月04日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：

【要約】【目的】ショート欠陥Sとオープン欠陥Oの検出及びショート欠陥S位置の特定が可能で、且つ種々の回路パターンに対応できる汎用性の高いパターンの検査装置及び方法を提供する。【構成】パターンPに接触可能なニードルピン1とニードルピン2及びニードルピン3とニードルピン4にそれぞれ電流源6と電流源7を接続し、電圧計8と電圧計9により所定位置間のパターンPの抵抗を求める。

請求項（抜粋）：

同一又は異なる回路パターンの任意の2ヶ所に接触可能な一対の第1接触手段と、該一対の第1接触手段に接続する電流源と、該一対の第1接触手段が接触する回路パターンの接触点間の抵抗を表すデータを検出する第1検出手段と、同一又は異なる回路パターンの任意の2ヶ所に接触可能な一対の第2接触手段と、該一対の第2接触手段に接続する電流源と、該一対の第2接触手段が接触する回路パターンの接触点の中の少なくとも一方の接触点と、他方の接触点を含む任意の点との間の抵抗を表すデータを検出する第2検出手段と、を備えたことを特徴とする回路パターン検査装置。