特許
J-GLOBAL ID:200903047105898985

ブレード自動交換システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松浦 憲三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-141306
公開番号(公開出願番号):特開平11-340169
出願日: 1998年05月22日
公開日(公表日): 1999年12月10日
要約:
【要約】【課題】広く使用されている形状のブレードが交換できるブレード自動交換システムを低コストで実現する。【解決手段】ダイシング装置のブレード自動交換システムであって、ブレード17には、スピンドル11に設けられたねじ15とねじ合わされるねじ34を有する補助止め部材31が固定され、補助止め部材31が固定されたブレード17を保持し、ブレードをスピンドル11に付勢した状態で、ブレード17をスピンドル11に対して相対的に回転させるブレード保持手段41、42と、交換するブレードを収容するブレード収容手段70と、ブレード保持手段41、42をスピンドル11の先端とブレード収容手段70の間で移動させる移動手段46、49、50とを備える。
請求項(抜粋):
スピンドル軸に取り付けたブレードを高速回転させて溝加工を行うダイシング装置の前記ブレードを自動交換するブレード自動交換システムであって、前記ブレードには、前記スピンドル軸に設けられたねじとねじ合わされるねじを有する補助止め部材が固定され、該補助止め部材が固定された前記ブレードを保持し、該ブレードを前記スピンドル軸に付勢した状態で、前記ブレードを前記スピンドル軸に対して相対的に回転させるブレード着脱手段と、交換する前記ブレードを収容するブレード収容手段と、前記ブレード着脱手段を前記スピンドル軸の先端と前記ブレード収容手段の間で移動させる移動手段とを備え、前記ブレード着脱手段は2個設けられており、一方は取り付けるブレードを保持し、他方は取り外したブレードを保持することを特徴とするブレード自動交換システム。
IPC (2件):
H01L 21/301 ,  B28D 1/24
FI (2件):
H01L 21/78 F ,  B28D 1/24

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