排ガス除害装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮田金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-282882
公開番号（公開出願番号）：特開2001-104751
出願日： 1999年10月04日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
要約：

【要約】【課題】 CVD排ガス中の有機物を高効率で除害可能な有機物溶液原料用CVD排ガス除害装置を提供する。【解決手段】 CVD排ガス除害装置4において、還元剤及びアルカリ剤処理部6を配置する。特に、還元剤及びアルカリ剤に加えて酸化触媒処理部7を併用した場合において、良好な排ガスの除害効果を発揮する。

請求項（抜粋）：

有機化合物溶液原料を用いたCVD反応炉の排気部に接続され、前記排気部から排出されたガスが少なくとも還元剤及びアルカリ剤が配置された処理部を通過するように構成された排ガス除害装置。

IPC (7件)：

B01D 53/72 , B01D 53/34 ZAB , B01D 53/86 , B01J 23/34 , B01J 23/42 , B01J 23/74 , C23C 16/44

FI (7件)：

B01J 23/34 A , B01J 23/42 A , B01J 23/74 A , C23C 16/44 E , B01D 53/34 120 D , B01D 53/34 ZAB , B01D 53/36 G

Fターム (71件)：

4D002AB03 , 4D002AC10 , 4D002BA03 , 4D002BA06 , 4D002BA12 , 4D002BA15 , 4D002CA07 , 4D002DA01 , 4D002DA08 , 4D002DA11 , 4D002DA13 , 4D002DA14 , 4D002DA16 , 4D002DA21 , 4D002DA22 , 4D002DA25 , 4D002DA46 , 4D002DA70 , 4D002EA02 , 4D002GA01 , 4D002GB01 , 4D002GB02 , 4D002GB04 , 4D002GB08 , 4D002GB11 , 4D048AA11 , 4D048AA17 , 4D048AB01 , 4D048BA25X , 4D048BA25Y , 4D048BA28X , 4D048BA28Y , 4D048BA30X , 4D048BA30Y , 4D048BA31X , 4D048BA31Y , 4D048BA36X , 4D048BA36Y , 4D048BA37X , 4D048BA37Y , 4D048BA38X , 4D048BA38Y , 4D048CC38 , 4D048CD01 , 4D048CD05 , 4D048CD08 , 4D048EA07 , 4G069AA03 , 4G069AA08 , 4G069BC58A , 4G069BC58B , 4G069BC62A , 4G069BC62B , 4G069BC66A , 4G069BC66B , 4G069BC67A , 4G069BC67B , 4G069BC68A , 4G069BC68B , 4G069BC72A , 4G069BC75A , 4G069BC75B , 4G069CA02 , 4G069CA07 , 4G069CA19 , 4G069DA06 , 4G069EA07 , 4G069FC07 , 4K030AA06 , 4K030EA12 , 4K030KA49

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