特許
J-GLOBAL ID：200903047108218217
走査型プローブ顕微鏡のカンチレバー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-293125
公開番号（公開出願番号）：特開平8-146015
出願日： 1994年11月28日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：
【要約】【目的】探針が試料をトレースして上記試料の凹凸像と屈折率分布の測定を行うと同時に、カンチレバーを移動することなく、上記試料の光学観察を行うことができる簡便な製法にて作成可能な走査型プローブ顕微鏡のカンチレバーを提供する。【構成】走査型プローブ顕微鏡のカンチレバーにおいて、上記カンチレバーの自由端部2を透明な素材にする。そして、この透明な自由端部2を通して試料観察を行う。
請求項（抜粋）：
走査型プローブ顕微鏡に用いられるカンチレバーにおいて、上記カンチレバーの自由端部を透明とし、この自由端部を通して試料観察を可能としたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡のカンチレバー。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
