特許
J-GLOBAL ID：200903047113113385

透孔板の検査方法および検査装置

発明者：
小林 正嘉

小林 正嘉 について

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上田 邦夫

上田 邦夫 について

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芝原 亨

芝原 亨 について

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浅井 吉治

浅井 吉治 について

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伊東 正邦

伊東 正邦 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 五十嵐 孝雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-180783
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005057
出願日： 1995年06月22日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 シャドウマスク等の透孔板の透孔の寸法異常に起因した光透過率のムラの目視検査の簡略化と検査精度の向上を図る。【構成】 シャドウマスク検査装置30では、CCDカメラ49の撮像した生画像の圧縮を行ない320 ×256 ×14ビットの階調データを得る。この圧縮した画像データをリファレンスデータで除算してシェーディング補正して、光源等に起因する雑音を除去する。次いで、シェーディング補正済みの階調データ(生画像濃度断面)を31×31のフィルタウィンドを有するメディアンフィルタにより平滑化処理して画像補正を行ない、平滑化されたメディアデータ(M/F画像濃度断面)を得る。その後、階調データをメディアンデータで除算して規格化データを求め、この規格化データに基づいて画像を表示し、シャドウマスクSMのグレードが除去されてムラが強調された画像を表示する。
請求項（抜粋）：
多数の透孔が概周期的に配列された透孔板について、透孔の寸法異常に起因した光透過率のムラを検査する透孔板の検査方法において、前記透孔板の一方の主面側から光を照射する照射工程と、前記透孔板を他方の主面側から撮像して、該撮像画像の階調データを求める撮像工程と、前記階調データを所定のフィルタにより平滑化処理して平滑化データを求める平滑化工程と、前記階調データを前記平滑化データで除算して、前記撮像画像の規格化データを算出する規格化工程と、前記規格化データに基づいて、検査対象である前記透孔板の他方の主面を表示する被検査透孔板表示工程と、を含むことを特徴とする透孔板の検査方法。
IPC (3件)：
G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00
FI (4件)：
G01B 11/30 C ,  G01N 21/88 E ,  G01N 21/88 J ,  G06F 15/62 400
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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