積層型磁界検出装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-041766
公開番号（公開出願番号）：特開平8-320362
出願日： 1996年02月28日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【課題】磁界検出素子の100kHz〜10MHz駆動領域での感度を上昇する。【解決手段】素子1は、基板10と、導電体からなる導電体層12と、この導電体層12の周囲に形成された磁性体の磁性体層11とからなる。そして、素子1に駆動電源50から交流を印加し、外部磁界によるインピーダンス変化を検出器60により検出する。磁性体層11には、素子1の通電電流方向と直交する方向に磁気異方性を付与している。そして、導電体の導電体層12を設けたことと、磁性体層11の磁気異方性の付与により、素子1を低抵抗にでき、従来素子より2桁低い駆動周波数において、外部磁界の変化による素子のインダクタンス変化と抵抗変化を効果的に取り出せる。また、磁性体層11の磁気異方性を制御しているため、駆動周波数による磁界検出のダイナミックレンジの変化を防止できる。

請求項（抜粋）：

高周波電源からの高周波電流が供給され、外部磁界に応じた電気的特性の変化を検出する積層型磁界検出装置であって、基板と、この基板上に形成された磁性体を含む磁性体層と、この磁性体層の内部に形成された導電体からなる導電体層と、を有することを特徴とする積層型磁界検出装置。

IPC (2件)：

G01R 33/02 , G01D 5/20

FI (2件)：

G01R 33/02 D , G01D 5/20 G

引用特許：

出願人引用 (2件)

磁気センサおよび磁界検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-210052 出願人：日本電信電話株式会社
磁気検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-164834 出願人：キヤノン電子株式会社

審査官引用 (2件)

磁気センサおよび磁界検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-210052 出願人：日本電信電話株式会社
磁気検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-164834 出願人：キヤノン電子株式会社

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