特許
J-GLOBAL ID：200903047127908798
非球面形状評価装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
瀧野 秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-180202
公開番号（公開出願番号）：特開平7-035541
出願日： 1993年07月21日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：
【要約】【目的】非球面形状のずれを定量的に評価して、非球面レンズ等の非球面形状の評価を高精度で行なえる非球面形状評価装置を提供する。【構成】形状測定機で測定された非球面形状データ(a.)に最も近似する非球面式(b.)を求める。非球面式に基づいて最適近軸曲率半径と設計近軸曲率半径との差分を求める。最適近軸曲率半径と設計近軸曲率半径との差分に基づいて非球面形状の誤差のうち最も低周波な球面成分の評価を行う。非球面形状データと非球面式の1次偏差(c.)を求める。1次偏差の近似曲線(d.)を求める。近似曲線についての最大偏差量に基づいて、非球面形状の誤差のうち低周波の非球面成分の評価を行う。1次偏差の近似曲線に対する2次偏差(e.)を分離する。2次偏差の平均値に基づいて、非球面形状の誤差のうち高周波の形状誤差成分である面の粗さの評価を行う。
請求項（抜粋）：
形状測定機で測定された非球面形状データから該非球面形状データに最も近似する非球面式を求める非球面式演算手段と、上記非球面式演算手段で得られた非球面式に基づいて最適近軸曲率半径と設計近軸曲率半径との差分を求める差分演算手段とを備え、上記差分演算手段で得られた差分に基づいて非球面形状の評価を行うようにしたことを特徴とする非球面形状評価装置。
IPC (3件)：
G01B 21/30 101
, G01B 11/24
, G01M 11/00
