特許
J-GLOBAL ID:200903047137772614
標準ガス発生器
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
秋田 収喜
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-033825
公開番号(公開出願番号):特開平6-249765
出願日: 1993年02月24日
公開日(公表日): 1994年09月09日
要約:
【要約】【目的】 質量分析装置等の迅速で精密な検量を行う。【構成】 キャリアガスを純ガスボンベ1から供給し、圧力調整器2で一定圧力にし、流量コントローラ3で一定流量にし、モレキュラシーブス4により水分、有機物等の不純物を除去し、液体試料の入った穴あき容器6を内包する試料室5に導入することにより、キャリアガス中に液体試料が気化したガスが拡散し、一定濃度の標準ガスが発生し、希釈器10で希望のガス濃度に希釈する。穴あき容器6の重量は、荷重センサ7に感知され、その重量値をもとに精密重量測定器8が重量を測定し、重量測定値を信号処理系9でガス濃度を換算し、表示する。これにより、精密な検量を迅速に行うことができる。
請求項(抜粋):
一流路のガス配管の途中に、圧力調整器と、流量コントローラと、液体試料の入った穴あき容器を内包する試料室とを前記の順序で、ガスの流れ方向に沿って配置した標準ガス発生器において、前記試料室内に前記穴あき容器の重量を感知する荷重センサと、該荷重センサからの信号に基づいて、前記穴あき容器の重量を測定する手段とを備えたことを特徴とする標準ガス発生器。
IPC (2件):
G01N 1/00 102
, G01N 1/22
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