特許
J-GLOBAL ID：200903047143405909
力学量センサおよびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-176821
公開番号（公開出願番号）：特開平8-043434
出願日： 1994年07月28日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：
【要約】【目的】 安価でかつ簡単な構造でありながら、高感度であると同時に高温環境下での低オフセット電圧を達成する力学量センサを提供することを目的とする。【構成】 絶縁層を有する起歪体1と、絶縁層上に設けた第1,第2の電極2a,2b,2c,2d,3a,3b,3c,3dを連接するようにプラズマ溶射により形成された抵抗体4a,4b,4c,4dを有することにより、簡単な構造かつ安価であると同時に高性能な力学量センサおよびその製造方法を提供できる。
請求項（抜粋）：
絶縁層を有する起歪体と、前記絶縁層上に設けた第1,第2の電極と、前記第1,第2の電極と連接するようにプラズマ溶射により形成された少なくとも半導体を含有する抵抗体とを備え、前記抵抗体の抵抗値変化を歪み量の変化として検出する検出手段とからなる力学量センサ。
IPC (4件)：
G01P 15/12
, C23C 4/10
, G01L 1/18
, H01L 29/84
