特許

J-GLOBAL ID：200903047153820840

スクリュー真空ポンプ

発明者： 阿久津 功
出願人/特許権者： 大亜真空株式会社
代理人 (1件)： 木下 茂 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-188474
公開番号（公開出願番号）：特開平9-014169
出願日： 1995年06月29日
公開日（公表日）： 1997年01月14日
要約：

【要約】【目的】 大気圧(760Torr)から10- 4 Torrの作動範囲において、安定した排気速度を得ることができるスクリュ-真空ポンプを提供する。【構成】 互に噛み合いながら回転する一対の雄ロ-タ1及び雌ロ-タ2と、両ロ-タを収納するケ-シング9により作動室を形成し、ケ-シング9の吸入口から気体を吸入すると共に前記吸入気体を前記作動室に閉じ込め、前記作動室に閉じ込められた吸入気体を前記ロ-タ1、2の回転に伴って、吐出口9bから圧出するスクリュ-真空ポンプにおいて、前記雄雌ロ-タ1、2にはねじ歯車部1a、2a及びル-ツ部3、4、5、6が形成されている。

請求項（抜粋）：

互に噛み合いながら回転する一対の雄ロ-タ及び雌ロ-タと、両ロ-タを収納するケ-シングにより作動室を形成し、ケ-シングの吸入口から気体を吸入すると共に前記吸入気体を前記作動室に閉じ込め、前記作動室に閉じ込められた吸入気体を前記ロ-タの回転に伴って、吐出口から圧出するスクリュ-真空ポンプにおいて、前記雄雌ロ-タにはねじ歯車部及びル-ツ部が形成されていることを特徴とするスクリュー真空ポンプ。