特許
J-GLOBAL ID：200903047153995836
欠陥検出方法及びその装置、磁気ヘッド検査方法及びその装置並びに磁気ヘッド製造ライン
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-289898
公開番号（公開出願番号）：特開平5-256795
出願日： 1992年10月28日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】外力等により検査対象に生じたひび欠陥を、欠けやボイド,傷,しみ,汚れ等の影響を受けることなく、しかも正常傾斜部分と区別して確実に検出すること。【構成】検査対象の画像を検出する手段として、微分干渉顕微鏡を用いる。特に、照明光路に挿入した四分の一波長板14の光軸方向に対し、偏光子13の偏光方向を±α度となるように設定して2枚の画像を入力し、これらを比較する。微分干渉顕微鏡内に配置された1/4波長板14により外観検査対象1からの2本の反射光間に2種類の相異なる位相差のオフセットを順次与えた状態で、TVカメラ19により2枚の画像を検出し、画像処理部20ではその2枚の画像の差画像にもとづき所定に画像処理することで、対象1表面上に存在している、たとえ微小なひび欠陥でも、そのひび欠陥が正常傾斜部分とは区別された状態で、確実に検出されるようにした。
請求項（抜粋）：
少なくとも1つの偏光子と1つの検光子及び複像プリズムであるウォラストンプリズムを備えた顕微鏡と、該顕微鏡により得られる像を検出する画像検出器を有し、該画像検出器により撮像した画像の値を、正常部分の値として予め設定した値あるいは該画像から演算して求めた正常部分の値と比較することにより欠陥を検出することを特徴とする欠陥検出装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G11B 5/455
