特許
J-GLOBAL ID：200903047154896106
ナノワイヤを含む触角センサ及びそれを製造する方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡部 正夫 (外11名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-287826
公開番号（公開出願番号）：特開2001-153738
出願日： 2000年09月22日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：
【要約】【課題】 ナノワイヤを搭載する触角センサ及びそれを製造する方法を提供する。【解決手段】 高分解能の触角検知機能として使用できる、触角センサ・デバイスが開示される。センサは、触角せん断センサとしても利用できる。それは、回路基板と、回路基板上の接触パッドのアレイと、接触パッドの各々に取り付けたナノワイヤのセットとを備えている。接触パッドは、材料の交差ストリップのマトリクスから隔離又は形成されている。各々ナノワイヤのセットは、少なくとも1つのナノワイヤ、好ましくは、好都合には垂直に整列され、長さが等しい、複数のナノワイヤを備えている。物体が複数のナノワイヤのセットのなかの少なくとも1つと接触する時に、少なくとも1つのナノワイヤのセットが、曲がり、その長さの部分に沿って、少なくとも別のナノワイヤのセットと接触する。接続がそれらの間で構築されたかどうかについて決定するために、物体の位置と運動活性とが、一対の接触パッドを電気的に調べることによって検知することができる。
請求項（抜粋）：
物体の位置と運動活性とを検出するための触角センサ・デバイスであって、表面を有する回路基板と前記表面に設けられた、少なくとも第1及び第2の接触パッドと、前記第1の接触パッドに取り付けられた第1のナノワイヤのセット及び前記第2の接触パッドに取り付けられた第2のナノワイヤのセットとを形成するための、前記第1及び第2の接触パッドの各々に取り付けられた少なくとも1つのナノワイヤとを含み、前記の物体が前記第1のナノワイヤのセットと接触する時に、前記第1のナノワイヤのセットが、曲がり、その長さの部分に沿って、少なくとも第2のナノワイヤのセットと接触し、それによって、前記第1及び第2のナノワイヤのセットが接続を構築したかどうかを決定するために、前記の第1と第2の接触パッドのなかの少なくとも1つを電気的に調べることによって、前記物体の前記の位置と運動活性を検知することができる、触角センサ・デバイス。
IPC (6件)：
G01L 5/00 101
, G01B 7/00
, G01P 13/00
, G01P 13/02
, G06F 3/03 315
, H01L 29/84
G01L 5/00 101 Z
, G01B 7/00 N
, G01P 13/00 A
, G01P 13/02 Z
, G06F 3/03 315 Z
, H01L 29/84 Z
