感放射線性樹脂組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小栗昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-325889
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131918
出願日： 2000年10月25日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：

【要約】【課題】半導体デバイスの製造において、レジストパターンのエッジラフネスが改善され、経時保存性が優れ、更に疎密依存性に優れた感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (A)特定構造の繰り返し単位を含有し、かつ酸の作用により分解する基を有する重合体(B)光酸発生剤(C)特定の混合溶剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1)または(2)で示される繰り返し単位を含有し、かつ酸の作用により分解する基を有する重合体(B)光酸発生剤(C)下記溶媒A群から選択される少なくとも1種と下記溶剤B群から選択される少なくとも1種、もしくは溶剤A群から選択される少なくとも1種と下記溶剤C群から選択される少なくとも1種とを含有する混合溶剤A群:プロピレングリコールモノアルキルエーテルカルボキシレートB群:プロピレングリコールモノアルキルエーテル、乳酸アルキル及びアルコキシアルキルプロピオネートC群:γ-ブチロラクトン、エチレンカーボネート及びプロピレンカーボネートを含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】式中、A0は単結合、炭素数1〜10個のアルキレン、炭素数3〜12個のシクロアルキレン、-L-OCO-、-L-COO-、-L-NHCO-、-L-NHCOO-、-L-NHCONH-、-L-CONH-、-L-OCONH-、-L-CONHCO-、-L-S-、-L-O-、-L-SO2-、-L-SO2NH-、-L-NHSO2-、置換または非置換のフェニレンから選ばれる2価の連結基を示す。Dは単結合、置換または非置換の炭素数1〜30個の炭化水素基あるいは芳香族基を示す。Me、Nfはそれぞれ置換または非置換の炭素数1〜12個のアルキル基、炭素数3〜30個のシクロアルキル基、炭素数2〜6個のアルケニル基、炭素数2〜6個のシクロアルケニル基、炭素数6〜20個のアリール基、トリメチルシロキシ基を示す。e、fは0または1を示す。X、YはHまたは酸分解性基を示す。r、sは1〜3を示す。Lは炭素数1〜10個のアルキレンまたは炭素数3〜12個のシクロアルキレンを示す。

IPC (7件)：

G03F 7/075 511 , C08G 77/04 , C08K 5/00 , C08L 83/04 , G03F 7/004 501 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (7件)：

G03F 7/075 511 , C08G 77/04 , C08K 5/00 , C08L 83/04 , G03F 7/004 501 , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

Fターム (44件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA11 , 2H025AB16 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB33 , 2H025CB41 , 2H025CC03 , 4J002CP031 , 4J002CP051 , 4J002CP071 , 4J002CP091 , 4J002EB016 , 4J002EB106 , 4J002ED027 , 4J002EH007 , 4J002EH057 , 4J002EH097 , 4J002EL057 , 4J002EQ016 , 4J002ES016 , 4J002EV236 , 4J002EV256 , 4J002EV296 , 4J002FD206 , 4J002FD207 , 4J002GP03 , 4J002HA05 , 4J035BA02 , 4J035BA04 , 4J035BA12 , 4J035BA14 , 4J035CA082 , 4J035CA092 , 4J035CA102 , 4J035CA182 , 4J035CA192 , 4J035EA01 , 4J035LA05 , 4J035LB16

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