固体レーザ装置及びこれを用いたレーザ加工装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田澤博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-121476
公開番号（公開出願番号）：特開2000-340868
出願日： 1993年08月02日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】固体素子3の熱レンズ作用の結果、レーザ共振器内のレーザ光14の断面積は小さくなり、さらに射出レーザビーム15は、電源5における投入電力の変化に伴うこの熱レンズ差容量の変化により、不規則に発散するため、レーザビーム15の焦点の位置を正確に定められず安定な加工ができない等の問題点があった。【解決手段】固体素子を、その周囲から、固体素子の屈折率より低い屈折率をもつ液体により冷却し、励起光源からの光を光学系により構成される光励起装置により、この固体素子に導いてこれを励起するとともに、固体素子表面のあらさを調整して、固体素子断面内の励起分布を調整するようにした。

請求項（抜粋）：

冷却用の液体中に配され、且つ、同液体よりも屈折率が大きい固体素子と、この固体素子の励起光源及び同励起光源の光を固体素子へ伝送する光学系からなる光励起装置とを備えた固体レーザ装置において、上記固体素子の表面のあらさを調整することにより、上記固体素子断面内の励起分布を調整したことを特徴とする固体レーザ装置。

IPC (6件)：

H01S 3/093 , H01S 3/00 , H01S 3/08 , H01S 3/092 , H01S 3/094 , H01S 3/131

FI (6件)：

H01S 3/093 , H01S 3/00 B , H01S 3/08 , H01S 3/092 , H01S 3/131 , H01S 3/094 S

引用特許：

審査官引用 (16件)

特開平2-205281
特開平1-271088
特開平4-028274

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