特許

J-GLOBAL ID：200903047168503654

テラヘルツ光検出器

発明者： 岩本 敏志 ,  赤堀 洋道
出願人/特許権者： 株式会社栃木ニコン ,  株式会社ニコン
代理人 (1件)： 四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-034233
公開番号（公開出願番号）：特開2003-232730
出願日： 2002年02月12日
公開日（公表日）： 2003年08月22日
要約：

【要約】【課題】 周波数分解の良い測定においてSN比の良いスペクトルを得る。【解決手段】 検出器本体1は、基板3と、基板3の+Z側の面に形成された光スイッチ素子による検出素子部(金属膜5,6間の間隔gの部分)と、を有する。基板3と略同じ屈折率を有する部材20が、基板3の-Z側に、部材20の-Z側の面と基板3の+Z側の面との間にテラヘルツパルス光の反射面を形成しないように、設けられる。部材20の-Z側の面の形状及び部材20の厚さは、部材20の-Z側の面の所定領域から入射して間隔gの領域(有効領域)の付近に集光したテラヘルツ光のうち、基板3の+Z側の面で反射された光が、最初に部材20の-Z側の面で反射した後に、間隔gの領域に実質的に入射しないかあるいは更に2回以上反射した後にのみ間隔gの領域に入射するように、設定される。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板の一方の面側に形成された検出素子部とを備え、前記基板の他方の面側から入射されたテラヘルツ光を前記検出素子部の有効領域で受光することにより前記テラヘルツ光を検出するテラヘルツ光検出器において、前記基板と略同じ屈折率を有する部材が、前記基板の前記他方の面側に、当該部材の前記基板とは反対側の面と前記基板の前記一方の面との間に前記テラヘルツ光の反射面を形成しないように、設けられ、前記部材の前記基板とは反対側の前記面の形状及び前記部材の厚さは、前記部材の前記基板とは反対側の前記面の所定領域から入射して前記検出素子部の前記有効領域の付近に集光した前記テラヘルツ光のうち、前記基板の前記一方の面側で反射された光が、最初に前記部材の前記基板と反対側の前記面で反射した後に、前記検出素子部の前記有効領域に実質的に入射しないかあるいは更に2回以上反射した後にのみ前記検出素子部の前記有効領域に入射するように、設定されたことを特徴とするテラヘルツ光検出器。

IPC (4件)：

G01N 21/35 ,  G01J 11/00 ,  H01L 31/0264 ,  G01J 1/02

FI (4件)：

G01N 21/35 Z ,  G01J 11/00 ,  G01J 1/02 N ,  H01L 31/08 L

Fターム (22件)：

2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ21 ,  2G059KK01 ,  2G059NN06 ,  2G065AB03 ,  2G065AB09 ,  2G065AB14 ,  2G065BA02 ,  2G065BA14 ,  2G065BA40 ,  2G065BB03 ,  2G065BC40 ,  2G065CA01 ,  5F088AB07 ,  5F088BA03 ,  5F088BB06 ,  5F088GA05 ,  5F088JA12