特許
J-GLOBAL ID：200903047170933100
水晶振動子式ラジカルビームモニタ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷川 昌夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-195680
公開番号（公開出願番号）：特開平7-050258
出願日： 1993年08月06日
公開日（公表日）： 1995年02月21日
要約：
【要約】【目的】 ラジカル照射を含むプロセスにより基体上に膜を形成するにあたり、該基体上に照射されるラジカル量を、長時間に亘り安定して測定することができ、従って成膜制御を長時間に亘り安定して行うことができる、安価な水晶振動子式ラジカルビームモニタを提供する。【構成】 水晶振動子に電極を設け、電極を介して水晶振動子に交流電場を印加し、電極上への物質付着による水晶振動子の振動周波数の変化をみることで、被成膜基体上に形成される膜の厚さをモニタできる水晶振動子式膜厚モニタの電極52に、被成膜基体に成膜時照射されるラジカルと化合することにより気体となる物質を含む膜53を形成して構成した水晶振動子式ラジカルビームモニタ。
請求項（抜粋）：
水晶振動子に電極を設け、該電極を介して水晶振動子に交流電場を印加し、該電極上への物質付着による該水晶振動子の振動周波数の変化をみることで、被成膜基体上に形成される膜の厚さをモニタできる水晶振動子式膜厚モニタの前記電極に、被成膜基体に成膜時照射されるラジカルと化合することにより気体となる物質を含む膜を形成して構成したことを特徴とする水晶振動子式ラジカルビームモニタ。
IPC (3件)：
H01L 21/203
, C23C 14/54
, G01B 17/02
