特許
J-GLOBAL ID：200903047173422522
圧電素子を用いたガスセンサおよびこれを使用するガス濃度測定方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田澤 博昭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-139667
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312709
出願日： 1992年05月06日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：
【要約】【目的】 この発明は、ガス種の選択性にすぐれ、しかも感度の高い圧電素子を用いたガスセンサおよびこれを使用するガス濃度測定方法を提供することを目的とする。【構成】 この発明は、特定のガスに対して高い吸着特性を示すことのない非選択的吸着性有機膜を担持した圧電素子と、特定のガスに対して高い吸着特性を示す選択的吸着性有機膜を担持した圧電素子の各出力信号における発振周波数の差を計測する。
請求項（抜粋）：
特定のガスに対して他のガスよりも高い吸着特性を示す選択的吸着性有機膜を担持した圧電素子と、ガスを非選択的に吸着する非選択的吸着性有機膜を担持した圧電素子と、これら両圧電素子に音響信号を与える音響制御手段と、上記両圧電素子の発振周波数の差を検出する周波数差検出手段を有する圧電素子を用いたガスセンサ。
引用特許：
前のページに戻る
