特許

J-GLOBAL ID：200903047173700204

液晶表示装置とその製造方法

発明者： 金子 寿輝 ,  小野 記久雄
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小野寺 洋二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-319565
公開番号（公開出願番号）：特開2001-142092
出願日： 1999年11月10日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】半導体層とソース電極およびドレイン電極のコンタクト抵抗を低下させ、かつ密着性を向上させ、透明導電膜のエッチング時の薬液の染みこみによる断線を防止する。【解決手段】薄膜トランジスタを形成したアクティブマトリックス基板を構成する絶縁基板1(SUB1)の内面にゲート電極4、ゲート絶縁膜GI、半導体層としてA-Si層7、コンタクト層としてN(+)a-Si層8、透明導電層11をこの順で形成し、N(+)a-Si層8と透明導電層11の間にシリサイド層10を介挿した。

請求項（抜粋）：

絶縁基板の内面に薄膜トランジスタを形成したアクティブマトリックス基板を有する液晶パネルと、薄膜トランジスタの駆動で画素を点灯させるための駆動信号電圧を印加する駆動回路とを具備した液晶表示装置であって、前記薄膜トランジスタが、前記絶縁基板の内面にゲート電極、ゲート絶縁膜、半導体層としてA-Si層、コンタクト層としてN(+)a-Si層、透明導電層をこの順で形成してなり、前記N(+)a-Si層と透明導電層の間にシリサイド層を介挿したことを特徴とする液晶表示装置。

Fターム (40件)：

2H092GA14 ,  2H092JA26 ,  2H092JA29 ,  2H092JA33 ,  2H092JA35 ,  2H092JA38 ,  2H092JA39 ,  2H092JA42 ,  2H092JA44 ,  2H092JA46 ,  2H092JB13 ,  2H092JB23 ,  2H092JB27 ,  2H092JB32 ,  2H092JB33 ,  2H092JB51 ,  2H092JB57 ,  2H092JB63 ,  2H092JB69 ,  2H092KA05 ,  2H092KA07 ,  2H092MA05 ,  2H092MA14 ,  2H092MA15 ,  2H092MA16 ,  2H092MA18 ,  2H092MA19 ,  2H092MA20 ,  2H092MA27 ,  2H092MA33 ,  2H092MA35 ,  2H092MA37 ,  2H092MA41 ,  2H092NA15 ,  2H092NA25 ,  2H092NA27 ,  2H092NA28 ,  2H092NA29 ,  2H092PA05 ,  2H092PA08