特許

J-GLOBAL ID：200903047183134738

電気回路測定用探針の接触検知装置及びこの接触検知装置を用いた電気回路測定装置

発明者： 岩倉 憲一 ,  大塚 哲夫
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 正美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-214464
公開番号（公開出願番号）：特開平5-041421
出願日： 1991年07月31日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：

【要約】【目的】 被測定体と測定用プローブ針との接触を電気的に検知する。【構成】 被測定体27又は測定用プローブ針20に交流信号を交流信号発生器29から供給する。Z軸方向制御手段34を駆動して、測定用プローブ針20と被測定体27とを相対的に近接移動させる。被測定体と測定用プローブ針とが接触したときに、交流信号発生器29からの交流信号が抵抗30を介して流れることを検知することにより、交流信号ループが形成されたことを検知して、接触検知信号を得る。

請求項（抜粋）：

被検体及び少なくとも1つの電気的良導体の一方に交流信号を供給する交流信号発生手段と、前記電気的良導体と前記被検体とが相対的に近接移動して両者が接触したときに前記交流信号発生手段の交流信号が流れる交流信号ループが形成されたことを検知する接触検知手段とにより構成される接触検知装置。

IPC (6件)：

H01L 21/66 ,  G01B 5/00 ,  G01B 7/00 ,  G01R 1/06 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-249342
  
• 特開昭63-291430