特許
J-GLOBAL ID：200903047185046224
走査型光学顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-040389
公開番号（公開出願番号）：特開平11-237554
出願日： 1998年02月23日
公開日（公表日）： 1999年08月31日
要約：
【要約】【課題】本発明は、、複数のビームスプリットの切り換えに起因する画像ずれを確実に防止できる走査型光学顕微鏡を提供する。【解決手段】試料に対しXガルバノミラー141、Yガルバノミラー142により点光源を2次元走査しながら照射し、試料からの光を共焦点ピンホール20を介して光検出器21で検出することで、画像情報を得るようにしたもので、光路に対し複数種類のダイクロイックミラー121、122、123を選択的に挿脱可能にするとともに、ダイクロイックミラー121、122、123の切換えにより発生する画像ずれをXガルバノミラー141、Yガルバノミラー142の2次元走査の制御位置を変更することで補正する。
請求項（抜粋）：
試料に対しガルバノミラーにより点光源を2次元走査しながら照射し、試料からの光をピンホールを介して検出することにより画像情報を得るようにした走査型光学顕微鏡において、前記試料への照明光と試料からの光を分離する特性を有し、光路に対し選択的に挿脱可能な種類の異なるビームスプリッタと、前記光路上に挿入されたビームスプリッタの角度ずれを検出する検出手段と、前記検出手段により検出された角度ずれに基づいて前記ガルバノミラーの2次元走査の制御位置を補正する制御手段とを具備したことを特徴とする走査型光学顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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