特許
J-GLOBAL ID：200903047193661426
硬脆薄板の研磨方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
早川 政名
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-320895
公開番号（公開出願番号）：特開平6-170728
出願日： 1992年11月30日
公開日（公表日）： 1994年06月21日
要約：
【要約】【目的】砥粒に及ぼす外的条件や研磨速度との関係で研磨抵抗および砥粒の温度が大きな要素となっていることから、それらのデータに基づいて加工条件を制御することによって、生産性及び加工精度の高い研磨方法を提供することを目的とする。【構成】研磨機に研磨抵抗の検出器および砥粒の温度検出器を配設し、両検出器の検出データに基づいて砥粒供給量が決定され、研磨速度を制御しながら硬脆薄板を研磨すること。
請求項（抜粋）：
研磨機に研磨抵抗の検出器および砥粒の温度検出器を配設し、両検出器の検出データに基づいて砥粒供給量が決定され、研磨速度を制御しながら硬脆薄板を研磨することを特徴とする硬脆薄板の研磨方法。
IPC (5件)：
B24B 37/04
, B24B 49/14
, B24B 49/16
, B24B 57/02
, H01L 21/304 321
