特許
J-GLOBAL ID:200903047198376800
ガス検出装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中島 淳 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-243882
公開番号(公開出願番号):特開2001-066250
出願日: 1999年08月30日
公開日(公表日): 2001年03月16日
要約:
【要約】【課題】 検出途中の一部隠蔽などのさまざまなノイズの有無に関わらず、零点安定性を維持すると共に、超高精度なガス漏れ検知を行うことができるガス検出装置の提供を目的とする。【解決手段】 信号発生回路24により出力信号を変調信号調整回路22に入力し、レーザダイオード16A及びレーザダイオード16Bが逆位相、並びに、レーザダイオード16A及びレーザダイオード16Bが逆位相にそれぞれなるように変調信号をそれぞれのレーザダイオードに出力することにより、レーザダイオードより変調光が出力される。そして、それぞれのレーザダイオードより出力された変調光を分波器18及び3つの合波器20A、20B、20Cによって測定光を生成し、プローブ部14の対象ガス雰囲気へ出力し、受光器36により受光する。そして、同期検波回路26により変調成分のみを抽出してガス検知を行う。
請求項(抜粋):
対象ガスに吸収される波長のレーザ光を発生する第1のレーザ光発生手段と、前記第1のレーザ光発生手段より出力される波長よりも小さい波長で、且つ対象ガスに吸収されない波長のレーザ光を発生する第2のレーザ光発生手段と、前記第1のレーザ光発生手段より出力される波長よりも大きい波長で、且つ対象ガスに吸収されない波長のレーザ光を発生する第3のレーザ光発生手段と、前記第1のレーザ光発生手段及び前記第2のレーザ光発生手段より出力される各レーザ光が、同一振幅且つ互いに逆相となるように変調すると共に、前記第1のレーザ光発生手段及び前記第3のレーザ光発生手段より出力される各レーザ光が、同一振幅且つ互いに逆相となるように変調する変調手段と、前記変調手段により変調された各変調光を合成して測定光とし、該測定光を対象ガス雰囲気中に出力する測定光出力手段と、対象ガス雰囲気中を通過した前記測定光を受光する受光手段と、当該受光手段の出力信号中の変調成分を抽出する変調成分抽出手段と、を具備するガス検出装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N 21/35 Z
, G01M 3/38 L
Fターム (14件):
2G059AA05
, 2G059EE01
, 2G059EE11
, 2G059GG01
, 2G059GG02
, 2G059GG03
, 2G059GG09
, 2G059JJ11
, 2G059JJ17
, 2G059KK01
, 2G059KK02
, 2G067BB15
, 2G067BB17
, 2G067CC04
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