特許

J-GLOBAL ID：200903047202985124

キャパシタを有する物品

発明者： ロバート マクレモア フレミング ,  リン フランセス シュニーメヤー ,  ロバート ブルース ヴァン ドーヴァー
出願人/特許権者： ルーセント テクノロジーズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 三俣 弘文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-140989
公開番号（公開出願番号）：特開平10-340999
出願日： 1998年05月22日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：

【要約】【課題】 TaOxの高誘電率および他の有利な特性を考慮すると、比較的低い漏れ電流および比較的高い破壊電圧を有するTaOxベースの誘電体膜があれば望ましい。このような膜およびこのような膜を製造する方法を提供する。【解決手段】 本発明者は、Ta酸化物膜にアルミニウムと窒素の両方を加えると、膜の誘電体特性を相当に向上できることを見いだした。スパッタリングガスにおいて、タンタリウムを約5〜40原子%をアルミニウムに置換し、O2の約10〜25体積%をN2に置換すると、誘電体特性を相当に向上することができ、破壊電圧が高く且つ統計的により均一とすることができ、漏れ電流を低くすることができた。

請求項（抜粋）：

2つの導電性メンバ(82、84)およびその間に第1の誘電体層(83)を有するキャパシタ(80)からなる物品において、前記第1の誘電体層は、タンタリウム(Ta)、アルミニウム(Al)、酸素(O)および窒素(N)を含有することを特徴とするキャパシタからなる物品。

IPC (4件)：

H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  H01G 4/33 ,  H01G 4/10

FI (3件)：

H01L 27/04 C ,  H01G 4/06 102 ,  H01G 4/10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開昭61-156865
  

審査官引用 (1件)

• 特開昭61-156865