特許

J-GLOBAL ID：200903047219926210

スパッタリング装置

発明者： 鈴木 すすむ ,  清水 潤一 ,  鈴木 巧一
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-160151
公開番号（公開出願番号）：特開平5-331634
出願日： 1992年05月27日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：

【要約】【構成】真空室内に配置したカソード2に断続的な直流電圧を印加する直流電源1を設けたスパッタリング装置。さらに、カソード周辺にプラズマを供給可能なプラズマガンを設けることもできる。【効果】反応性スパッタを行うような場合でもアーキングの発生頻度を低減することができ、より多くの電力を安定してカソードに投入することができる。

請求項（抜粋）：

真空室内に配置したカソードに断続的な直流電圧を印加する直流電源を設けたことを特徴とするスパッタリング装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭64-015370
  
• 特開昭61-041766
  
• 特開平2-050955
  
• 特開昭63-266061