特許
J-GLOBAL ID：200903047236519726
研磨加工方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
並川 啓志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-203528
公開番号（公開出願番号）：特開平5-123968
出願日： 1991年07月19日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：
【要約】【構成】 研磨加工において、研磨機による研磨加工の終了した被加工物を水中でプレートから剥離後、有機洗浄、乾燥を行う。【効果】 被加工物表面の汚れのない高品質の被加工物を得ることができる。
請求項（抜粋）：
研磨終了後の被加工物を水中でプレートから剥離後、有機洗浄、乾燥を行うことを特徴とする研磨加工方法。
IPC (3件)：
B24B 55/03
, B24B 37/04
, H01L 21/304 341
