特許

J-GLOBAL ID：200903047240796076

物理的量を特徴付けるための集積電子センサおよびかかるセンサを製造するための方法

発明者： カイラ,パトリス
出願人/特許権者： コミツサリア タ レネルジー アトミーク
代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-510153
公開番号（公開出願番号）：特表平9-503298
出願日： 1994年09月29日
公開日（公表日）： 1997年03月31日
要約：

【要約】物理的量を特徴付けるための集積電子センサは特徴付け部材(3)を有する基板(5)、およびカバー(9)と基板との間に第1間隔を設けるように、前記基板(5)に支持する少なくとも一つのボール(11)によつて前記特徴付け部材(3)の近くにかつ前方に維持される前記カバー(9)からなりそして前記カバーが、該カバーと基板との間の前記間隔より小さい、前記カバー(9)と前記部材との間の第2の間隔を画成するように、前記特徴付け部材(3)と向かい合っている突出部(15)を有することにより特徴付けられる。

請求項（抜粋）：

その一部分が少なくとも1方向(y,z)に変形することができる特徴付け部材(3)を有する基板(5)、および該基板(5)と一体の少なくとも一つの溶融可能な材料のボール(11)によつて前記特徴付け部材(3)の近くにかつ前方に維持されるカバーを組み込んでおり、その結果第1の間隔(H)がカバー(9)と前記基板との間に設けられる、物理的量を特徴付けるための集積電子センサにおいて、前記カバー(9)が、該カバーと前記基板との間の前記間隔より小さい前記カバーと前記部材(3)との間の第2の間隔(h)を画成するように、前記特徴付け部材(3)と向かい合う制御される厚さを有する突出部(15)を有することを特徴とする集積電子センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/125 ,  G01L 1/18 ,  H01L 23/02

FI (3件)：

G01P 15/125 ,  G01L 1/18 ,  H01L 23/02 C