特許

J-GLOBAL ID：200903047241218386

エツチング液の処理方法

発明者： 三上 八州家 ,  庵崎 雅章 ,  柴崎 昌夫
出願人/特許権者： 日鉄鉱業株式会社
代理人 (1件)： 伊藤 武久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-281370
公開番号（公開出願番号）：特開平5-117879
出願日： 1991年10月28日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：

【要約】【目的】 簡単な操作で、しかも低い運転コストでエッチング廃液を処理するとともに発生する塩素ガスを系外に放出することなく、安全に有効利用する。【構成】 塩化第一銅含有エッチング液を隔膜電解法で処理し、陰極室で銅を電析回収するとともに、陽極室で発生する塩素ガスをエッチング工程で使用している別の塩化第一銅含有エッチング液に導き、当該液を再生する。

請求項（抜粋）：

塩化第一銅含有エッチング液を隔膜電解法で処理し、陰極室で銅を電析回収するとともに、陽極室で発生する塩素ガスをエッチング工程で使用している別の塩化第一銅含有エッチング液に導き、当該液を再生することを特徴とするエッチング液の処理方法。

IPC (4件)：

C23F 1/46 ,  B01D 43/00 ,  B01D 61/44 500 ,  H01L 21/306

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭55-018558
  
• 特開昭55-002763
  
• 特開昭62-235482