特許

J-GLOBAL ID：200903047243498637

顕微鏡における自動焦点合わせ装置及び暗視野顕微鏡

発明者： 吹田 牧夫
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-155207
公開番号（公開出願番号）：特開平5-346532
出願日： 1992年06月15日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：

【要約】【目的】 測定する物体面の光学的状態に依存することなく、しかも高速処理が可能な顕微鏡における自動焦点合わせ及び暗視野顕微鏡における高輝度化を実現する。【構成】 照明用の光ファイバーバンドル3の出射端部とフォーカス用の光ファイバーバンドル12の入射端部とを円筒状に束ねた光ファイバーバンドル端部11を顕微鏡筒4内に挿入する。光源1の光は光ファイバーバンドル3の出射端より円筒状のビームとなって出射する。これをコンデンサーレンズ6でコーン状に集光して物体面10に照射する。物体面10からの散乱光9は対物レンズ5に入り、暗視野を検出系7で観測する。物体面10からの正反射光8は再びコンデンサーレンズ6に入射する。これを光ファイバーバンドル12で導出して光電管14で受光し、正反射光8の受光量を検出する。

請求項（抜粋）：

照明光源に光学的に接続され照明光源の光を顕微鏡の物体面へと照射する投光用光ファイバと、投光用光ファイバから上記物体面に照射された光の正反射または正透過光を受光しこれを受光素子に導く受光用光ファイバと、上記受光素子の受光量に基づいて顕微鏡下面と上記物体面との距離を調整する制御手段とを備えたことを特徴とする顕微鏡における自動焦点合わせ装置。

IPC (4件)：

G02B 7/28 ,  G02B 6/00 ,  G02B 6/00 331 ,  G02B 21/10

FI (2件)：

G02B 7/11 J ,  G02B 6/00 B