特許
J-GLOBAL ID：200903047255465661
検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
落合 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-307603
公開番号（公開出願番号）：特開平6-129844
出願日： 1992年10月21日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】 コントラストの高い、鮮明な明暗パターンを得ることができる検査装置を提供する。【構成】 試料に平行光を照射し、その反射光または透過光を収束し、後側焦点の後方で前記試料面の観測を行うように構成されるとともに、前記後側焦点またはその近傍に遮蔽体を設けて観測面に向かう反射光の一部を遮断するようにした光学系を備え、前記平行光よりは大きい入射角で前記試料に対して光を照射する光照射手段を設けた。
請求項（抜粋）：
試料に平行光を照射し、その反射光または透過光を収束し、後側焦点の後方で前記試料面の観測を行うように構成されるとともに、前記後側焦点またはその近傍に遮蔽体を設けて観測面に向かう反射光の一部を遮断するようにした光学系を備え、前記平行光よりは大きい入射角で前記試料に対して光を照射する光照射手段を設けたことを特徴とする検査装置。
IPC (2件)：
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