特許

J-GLOBAL ID：200903047257930361

共通のRF端子を有する対称並列多重コイルを備えた誘導結合型プラズマリアクタ

発明者： シュー-ユ チェン ,  アーサー サト
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-267404
公開番号（公開出願番号）：特開平10-125663
出願日： 1997年09月30日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】 最小限の容量結合で、高電力時にウェーハ面上で高度に均一なプラズマを提供するコイルアンテナを有する誘導結合型プラズマリアクタを実現する。【解決手段】 本発明は、真空チャンバ内で半導体ウェーハを処理する誘導結合型プラズマリアクタの真空チャンバ内にRF電源によって供給されるRF電力を放射するためのコイルアンテナを中心としている。リアクタは、処理ガスを真空チャンバ内に供給するガス供給口を有しており、コイルアンテナは、各巻線のら旋の頂点近傍に内端を有するとともに各巻線のら旋の周辺部に外端を有する同心ら旋状導電性巻線を複数有するとともに、同心ら旋状の複数の巻線の内端に接続される共通端子を有している。また、RF電源は、端子と各巻線の外端とを跨いで接続されている。

請求項（抜粋）：

半導体ウェーハを処理するプラズマリアクタであって、真空チャンバと、前記真空チャンバ内に処理用ガスを導入する手段と、前記真空チャンバの内側で前記半導体ウェーハを支持するウェーハペデスタルと、RF電源と、前記真空チャンバ近傍のコイルアンテナと、を備え、前記コイルアンテナは、径方向内端および径方向外端を各々が有する複数の同心ら旋導電性巻線と、前記複数の同心ら旋巻線の前記径方向内端に接続された第1の共通導体、および前記複数の同心ら旋巻線の前記径方向外端に接続された第2の共通導体と、を備え、前記RF電源は、前記第1および第2共通導体の一方に接続されているプラズマリアクタ。

IPC (6件)：

H01L 21/3065 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 ,  H05H 1/46

FI (6件)：

H01L 21/302 B ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 C ,  H05H 1/46 L