特許
J-GLOBAL ID：200903047270989324
基板熱処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-328420
公開番号（公開出願番号）：特開2000-150333
出願日： 1998年11月18日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：
【要約】【課題】 基板の反りや「転写」の発生を有効に防止できる基板熱処理装置を提供する。【解決手段】 LCD基板61を載置するホットプレート60と、ホットプレート60に設けられこのホットプレート60を通して放熱することによってLCD基板61を加熱処理する加熱ヒータ68と、水平に張架された複数本のワイヤ63を有し、このワイヤ63上に前記LCD基板61を保持し、前記ホットプレート60上に移載する移載手段とを有する。
請求項（抜粋）：
被処理基板を加熱処理する加熱台と、水平に張架された複数本のワイヤを有し、このワイヤ上に前記被処理基板を保持し、前記加熱台上に移載する移載手段とを有することを特徴とする基板熱処理装置。
Fターム (7件)：
5F046JA04
, 5F046JA06
, 5F046JA15
, 5F046JA22
, 5F046KA04
, 5F046KA07
, 5F046LA18
