特許

J-GLOBAL ID：200903047277908443

紫外線照射装置

発明者： 宮武 宏 ,  金原 松郎 ,  関戸 俊之 ,  黒田 繁寿 ,  伊藤 英雄
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-017020
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204335
出願日： 1993年01月06日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】【目的】 紫外線照射されたことを示す確認マークをワークに容易に付けることができる紫外線照射装置を提供する。【構成】 ワークWに紫外線を照射するにあたり、紫外線感応型の粘着テープ2の粘着面の所定位置に部材30を当接される。この状態で紫外線を照射すると、部材30が当接していた領域の粘着テープ2の粘着剤が白濁するので、これを紫外線照射の有無確認用のマークとして用いる。

請求項（抜粋）：

半導体ウエハの裏面に貼着された紫外線感応型の粘着テープを介して、前記半導体ウエハを保持しているリング状フレーム(以下、ワークと言う)に対して、紫外線を照射する紫外線照射装置において、前記ワークへの紫外線照射時に、前記粘着テープの粘着面の所定位置に当接する部材を備えたことを特徴とする紫外線照射装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-297483
  
• 特開平1-308045
  
• 特開昭62-216244