特許
J-GLOBAL ID：200903047297414250
欠陥検出方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安形 雄三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-210913
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034348
出願日： 1992年07月15日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：
【要約】【目的】 ワークに付いた打痕のような緩やかな凹凸変化の欠陥でも確実に検出できる欠陥検出方法及び装置を提供することである。【構成】 平行線又はメッシュ状の遮光部を有する透明な照射板を通して、被検査物体に平行光線を照射する。被検査物体には遮光部の陰が形成され、欠陥が存在すれば線が曲がるので、これによって欠陥を容易に検出することができる。
請求項（抜粋）：
平行線又はメッシュ状の遮光部を有する透明な照射板を通して、被検査物体に平行光線を斜めに照射し、前記被検査物体を撮像手段で撮像して表示手段に表示し、前記表示手段に表示された画像を目視するか、又は前記撮像手段からの信号を画像処理して前記被検査物体の欠陥を検出するようにしたことを特徴とする欠陥検出方法。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (3件)
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特開昭58-206908
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特開昭60-060541
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特開昭52-071289
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