特許
J-GLOBAL ID：200903047298139849
レーザマーキング装置及びオプティカル・スキャナ取付方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 聖孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-187631
公開番号（公開出願番号）：特開平7-016768
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年01月20日
要約：
【要約】[目的]特別なアライメント機構や光路カバーを不要とする小型軽量のレーザ出射部を実現する。[構成]筐体10内には、箱状のチャンバ型オプティカル・スキャナ取付体16と箱状のレーザ光案内室18とが嵌め込み式で一体に結合されてなる光学部品取付体14が収容される。オプティカル・スキャナ取付体16の一側面(左側面)16aおよび上面16bには、X軸オプティカル・スキャナ20およびY軸オプティカル・スキャナ22が板片状の取付部材24,26を介してそれぞれ壁面に垂直に取付固定される。レーザ光LBをスキャニングするためのレーザ走査部28を構成するX軸ミラー30およびY軸ミラー32は、オプティカル・スキャナ取付体16の室内に配置され、室外のX軸オプティカル・スキャナ20およびY軸オプティカル・スキャナ22の回転駆動軸にそれぞれ結合されている。
請求項（抜粋）：
互いに直交した軸で回転するX軸回転ミラーとY軸回転ミラーとからなるレーザ走査部と、前記X軸回転ミラーを回転駆動するX軸オプティカル・スキャナと、前記Y軸回転ミラーを回転駆動するY軸オプティカル・スキャナと、前記レーザ走査部を室内に収容した状態で前記X軸オプティカル・スキャナおよび前記Y軸オプティカル・スキャナを取付固定してなるチャンバ型のオプティカル・スキャナ取付体と、を具備したことを特徴とするレーザマーキング装置。
IPC (5件)：
B23K 26/00
, B23K 26/08
, G02B 26/10 101
, H01L 23/00
, H01S 3/00
