特許
J-GLOBAL ID:200903047299024271

プラズマリアクタ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 落合 健 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-139488
公開番号(公開出願番号):特開2001-314748
出願日: 2000年05月12日
公開日(公表日): 2001年11月13日
要約:
【要約】【課題】 高い電源電圧を必要とせずに、一対の電極に挟まれた領域の全体に必要かつ充分な平均電流密度のプラズマを形成し、ガスの改質を効率的に行うことができるプラズマリアクタを提供する。【解決手段】 ガスを改質するプラズマリアクタPRは、相対向する一対の電極E1,E2と、両電極E1,E2間に配置された誘電体Dと、両電極E1,E2に交流電流またはパルス電流を印加する電源Pとを備え、両電極E1,E2間のギャップGを流れるガスにプラズマを発生させて改質を行う。ギャップGに発生するプラズマの平均電流密度Irdを、10-4A/cm2 ≦Ird≦10-1A/cm2 の範囲に設定することにより、集中放電およびバリア放電を同時に発生させ、ギャップGの全域にガスの改質を効率的に行うに足りる充分な平均電流密度Irdのプラズマを形成する。
請求項(抜粋):
相対向する一対の電極(E1,E2)と、一対の電極(E1,E2)間に配置された誘電体(D)と、一対の電極(E1,E2)に交流電流またはパルス電流を印加する電源(P)とを備え、一対の電極(E1,E2)間のギャップ(G,G1,G2)を流れるガスにプラズマを発生させて改質を行うプラズマリアクタにおいて、発生するプラズマの平均電流密度Irdが、10-4A/cm2 ≦Ird≦10-1A/cm2であることを特徴とするプラズマリアクタ。
IPC (2件):
B01J 19/08 ,  H05H 1/24
FI (2件):
B01J 19/08 E ,  H05H 1/24
Fターム (7件):
4G075AA03 ,  4G075BA01 ,  4G075BA05 ,  4G075CA47 ,  4G075EB42 ,  4G075EC21 ,  4G075FC15
引用特許:
出願人引用 (3件)
  • 特開昭63-137748
  • 放電反応装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-120869   出願人:株式会社荏原製作所
  • 特開平3-205306

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