パターン検査装置、パターン検査方法およびパターン検査プログラムを格納した記録媒体

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-275685
公開番号（公開出願番号）：特開2000-105832
出願日： 1998年09月29日
公開日（公表日）： 2000年04月11日
要約：

【要約】【課題】パターン検査装置の検査処理速度の短縮化を目的とする。【解決手段】本発明のパターン検査装置は、設計データにもとづいて検査基準パターンデータを生成する検査基準データと、前記設計データに基づき作製された試料のパターンを測定して得た測定パターンデータとを比較照合することでパターン検査を行う装置であって、検査基準データ生成部が、順次一定領域ごとの設計データを読み出し、各設計データを要素図形に分け、各要素図形の形状、位置、寸法情報を含む図形情報を抽出する予備展開手段と、前記予備展開手段で抽出された図形情報を記憶保持する図形情報記憶手段と、前記図形情報記憶手段に保持された図形情報を読み出し、各図形情報における複数の要素図形を合成して新たな要素図形に置換するとともに、これに応じて発生する新たな図形情報で、前記図形情報記憶手段中の図形情報を書き換える図形合成置換手段と、前記新たな図形情報に基づき、要素図形情報をビットパターンに展開する図形展開手段とを有する。

請求項（抜粋）：

設計データにもとづいて検査基準パターンデータを生成する検査基準データ生成部と、前記設計データに基づき作製された試料のパターンを測定し、測定パターンデータを生成する測定データ生成部と、前記検査基準パターンデータと測定パターンデータを比較照合する比較回路とを有するパターン検査装置において、前記検査基準データ生成部が、順次一定領域ごとの設計データを読み出し、各設計データを要素図形に分け、各要素図形の形状、位置、寸法情報を含む図形情報を抽出する予備展開手段と、前記予備展開手段で抽出された図形情報を記憶保持する図形情報記憶手段と、前記図形情報記憶手段に保持された図形情報を読み出し、各図形情報における複数の要素図形を合成して新たな要素図形に置換するとともに、これに応じて発生する新たな図形情報で、前記図形情報記憶手段中の図形情報を書き換える図形合成置換手段と、前記新たな図形情報に基づき、図形情報をビットパターンに展開する図形展開手段とを有することを特徴とするパターン検査装置。

IPC (5件)：

G06T 7/00 , G01N 21/88 , G02F 1/13 101 , G03F 1/08 , H01L 21/027

FI (6件)：

G06F 15/62 405 A , G02F 1/13 101 , G03F 1/08 S , G01N 21/88 610 , G01N 21/88 645 A , H01L 21/30 502 V

Fターム (37件)：

2G051AA51 , 2G051AA56 , 2G051AA73 , 2G051AB20 , 2G051CA03 , 2G051CB02 , 2G051DA07 , 2G051DA08 , 2G051EA08 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051ED07 , 2G051FA10 , 2H088FA11 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088HA06 , 2H088MA20 , 2H095BD04 , 2H095BD28 , 5B057AA03 , 5B057CA12 , 5B057CA20 , 5B057CB12 , 5B057CB16 , 5B057CC01 , 5B057CE04 , 5B057CE08 , 5B057CH01 , 5B057CH11 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DC03 , 5B057DC07 , 5B057DC32

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