特許

J-GLOBAL ID：200903047305116663

ガスセンサー

発明者： 上羽 良信 ,  奥田 伸之 ,  上村 卓 ,  多田 紘二
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 亀井 弘勝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-297333
公開番号（公開出願番号）：特開平6-148115
出願日： 1992年11月06日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：

【要約】【構成】 センサー素子として、不純物がドープされた炭素クラスター薄膜を用いる。【効果】 電気化学式ガスセンサーような組成変化や液漏れ等のおそれは全くない。触媒燃焼式ガスセンサーのような高温加熱の必要もない。金属酸化物半導体式ガスセンサーのようなセンサー素子の加熱による特性安定化時間を必要としない。従来のガスセンサーに比べ簡単かつ軽量小型である。O2 またはCO等その他のガスを検出可能である。FET式ガスセンサーとすれば、超小型、多成分同時検知、超薄膜化による高速応答および大量生産が可能となる。

請求項（抜粋）：

センサー素子として、不純物がドープされた炭素クラスター薄膜を用いたことを特徴とするガスセンサー。

IPC (2件)：

G01N 27/12 ,  G01N 27/00