特許

J-GLOBAL ID：200903047305548709

水晶型結晶構造を有する酸化物薄膜及びその製造方法

発明者： 今井 貴浩 ,  田中 素之 ,  藤森 直治
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 正緒
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-034860
公開番号（公開出願番号）：特開平8-225398
出願日： 1995年02月23日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：

【要約】【目的】 水熱合成法のような大がかりな装置を必要とせず、任意の膜厚の多結晶又は単結晶の水晶型結晶構造を有する酸化物薄膜を提供する。【構成】 少なくともSi及び/又はGeを含有し、好ましくは1種以上のアルカリ金属を添加した原料を用い、基板温度400°C以上1200°C以下の条件の気相堆積法により、基板上に厚みが5nm以上50μm以下で、二酸化ケイ素又は二酸化ゲルマニウム若しくはこれらの混合物を主成分とする水晶型結晶構造を有する酸化物薄膜を形成する。

請求項（抜粋）：

気相堆積法により基板上に形成され、一層当たりの厚みが5nm以上50μm以下の少なくとも一層からなり、各層が二酸化ケイ素又は二酸化ゲルマニウム若しくはこれらの混合物を主成分とすることを特徴とする水晶型結晶構造を有する酸化物薄膜。

IPC (7件)：

C30B 29/16 ,  C30B 23/00 ,  C30B 25/00 ,  C30B 25/18 ,  H01L 21/316 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/19

FI (7件)：

C30B 29/16 ,  C30B 23/00 ,  C30B 25/00 ,  C30B 25/18 ,  H01L 21/316 X ,  H03H 3/02 B ,  H03H 9/19 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭61-285407