特許

J-GLOBAL ID：200903047309348313

透明導電性フィルムおよびその製造法

発明者： 宮崎 龍法 ,  斎木 幸治 ,  林 明峰 ,  松本 賢次
出願人/特許権者： 鐘淵化学工業株式会社
代理人 (1件)： 伊丹 健次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-312926
公開番号（公開出願番号）：特開平6-136159
出願日： 1992年10月27日
公開日（公表日）： 1994年05月17日
要約：

【要約】【構成】 透明フィルム基板(A)上に、珪素酸化物を主体とする金属酸化物または珪素窒化物を主体とする金属窒化物の透明バリヤー性薄膜(B)を形成し、さらにその上にインジウム酸化物を主体とする金属酸化物の透明導電性薄膜(C)を形成したことを特徴とする透明導電性フィルム。【効果】 優れたガスバリヤー性及び水蒸気バリヤー性を有するとともに、耐アルカリ性にも優れている。

請求項（抜粋）：

透明フィルム基板(A)上に、珪素酸化物を主体とする金属酸化物または珪素窒化物を主体とする金属窒化物の透明バリヤー性薄膜(B)を形成し、さらにその上にインジウム酸化物を主体とする金属酸化物の透明導電性薄膜(C)を形成したことを特徴とする透明導電性フィルム。

IPC (3件)：

C08J 7/04 ,  B32B 9/04 ,  H01B 5/14