特許

J-GLOBAL ID：200903047321425420

2層テーブルを有する搬出入装置

発明者： 竹沢 享
出願人/特許権者： 株式会社ディスコエンジニアリングサービス
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-342775
公開番号（公開出願番号）：特開平7-164273
出願日： 1993年12月16日
公開日（公表日）： 1995年06月27日
要約：

【要約】【目的】 半導体ウェーハの加工工程において、前のウェーハを処理している間に次のウェーハをカセットから引き出して待機させることにより1サイクルの時間を短縮し作業効率の向上を図った、2層テーブルを有する搬出入装置を提供する。【構成】 カセット内から半導体ウェーハ等の被加工物を搬出し、この被加工物に所定の処理を施した後にカセット内に搬入する搬出入装置において、この搬出入装置にはカセット内から搬出された被加工物を載置する下部テーブルと、処理済みの被加工物を載置する上部テーブルとが含まれ、上部テーブルは前記下部テーブルの被加工物を搬送する際に退避位置に位置付けられるように構成される。

請求項（抜粋）：

カセット内から半導体ウェーハ等の被加工物を搬出し、この被加工物に所定の処理を施した後にカセット内に搬入する搬出入装置において、この搬出入装置にはカセット内から搬出された被加工物を載置する下部テーブルと、処理済みの被加工物を載置する上部テーブルとが含まれ、上部テーブルは前記下部テーブル上の被加工物を搬送する際に退避位置に位置付けられるように構成された、2層テーブルを有する搬出入装置。

IPC (5件)：

B23Q 7/04 ,  B65G 1/00 539 ,  B65G 1/06 511 ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/301

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 板材搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-022353   出願人：村田機械株式会社