特許

J-GLOBAL ID：200903047325905974

ICチツプ外観検査装置

発明者： 門前 正彦
出願人/特許権者： シヤープ株式会社
代理人 (1件)： 大西 孝治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-342449
公開番号（公開出願番号）：特開平5-152406
出願日： 1991年11月29日
公開日（公表日）： 1993年06月18日
要約：

【要約】【目的】 不良品チップの見落とし等の官能検査の問題点がなく、しかも従来の外観検査装置よりも外観検査に必要な時間を短縮する。【構成】 チップを収納するトレイを移動させるトレイ移動系100 と、トレイに収納されたままの状態でチップの外観検査を行う外観検査部200 と、良品チップと不良品チップとを別個のトレイに分別するチップ分別部300 と、分別後のトレイを収納するトレイ収納部400 とを備えており、外観検査部200 は、トレイを載置するXYθテーブル210 と、このXYθテーブル210 の上方に設けられる画像入力部220 と、この画像入力部220 から入力された画像を処理する画像処理部と、検査結果を記憶するメモリ部とを有している。

請求項（抜粋）：

ICチップを収納するトレイを移動させるトレイ移動系と、トレイに収納されたままの状態でICチップの外観検査を行う外観検査部と、外観検査結果に応じて良品チップと不良品チップとを別個のトレイに分別するチップ分別部と、分別後のトレイを収納するトレイ収納部とを具備したことを特徴とするICチップ外観検査装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭58-097844
  
• 特開昭62-263646
  
• 特開昭61-239633
  
• 特開昭63-127544