特許

J-GLOBAL ID：200903047326962785

画像表示装置

発明者： 山本 満則 ,  後藤 武志
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-041001
公開番号（公開出願番号）：特開平5-243351
出願日： 1992年02月27日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：

【要約】【目的】回路構成が簡単で、光源の走査回数が1回ですむ装置を得ることにある。【構成】光源からの光を試料3上にスポット状に集光しそのスポット光を2次元走査し、試料3からの反射光に基く反射光像信号を光検出器でとらえ表示器10に画像化するとともに、3を動作させるための電源電圧を印加することにより前記3に流れる交流電流に基く光励起電流像信号を検出器5で検出し、かつこれを前記10に画像化する画像表示装置において、光励起電流像信号のプラス側とマイナス側の極性のいずれか一方を他方の極性と同じにする絶対値回路25と、この回路25の出力信号をデジタル化して記憶し、かつこの記憶内容をアナログ化して前記10に出力するするメモリ28と、光励起電流像信号と基準値と比較し、この結果により所定の信号を出力するコンパレータ26と、この出力を記憶し、かつこの記憶内容を10に出力するのメモリ29とを備えたもの。

請求項（抜粋）：

光源からの光を試料上にスポット状に集光しそのスポット光を2次元走査し、前記試料からの反射光に基く反射光像信号を光検出器でとらえ表示器に画像化するとともに、前記試料を動作させるための電源電圧を印加することにより前記試料に流れる交流電流に基く光励起電流像信号を検出器で検出し、かつこれを前記表示器に画像化する画像表示装置において、前記光励起電流像信号のプラス側とマイナス側の極性のいずれか一方を他方の極性と同じにする絶対値回路と、この絶対値回路の出力信号をデジタル化して記憶し、かつこの記憶内容をアナログ化して前記表示器に出力するする第1のメモリと、前記光励起電流像信号と基準値と比較し、この結果により所定の信号を出力するコンパレータと、このコンパレータの出力を記憶し、かつこの記憶内容を前記表示器に出力する第2のメモリと、を備えた画像表示装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G02B 21/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-071820
  
• 特開平4-027513
  
• 特開昭63-017009
  
• 特開平3-124417