特許
J-GLOBAL ID：200903047329034056
面位置検出装置及び該装置を備えた露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-120300
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304016
出願日： 1996年05月15日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：
【要約】【課題】 構成が簡単で調整の容易な斜め入射方式の面位置検出装置を提供する。【解決手段】 格子パターン形成面8aのパターンの像を投射光学系9,10を介して被検面1a上に投影し、被検面1a上の像を集光光学系11,12を介してアオリ補正プリズム25の受光面25a上に再結像する。その格子パターン形成面8a及び被検面1aが投射光学系9,10に関してシャインプルーフの条件を満たし、被検面1a及び入射面25aが集光光学系11,12に関してシャインプルーフの条件を満たすようにし、且つ入射面25aに受光スリットSを形成し、アオリ補正プリズム25の射出面25bに近接して光電検出器17の受光面17aを配置し、受光スリットSと再結像されるパターン像とを振動ミラー30で相対的に振動させる。
請求項（抜粋）：
第1面上に形成された所定のパターンと、被検面に対して斜めの方向から前記所定のパターンの像を投射する投射光学系と、前記被検面で反射された光束を集光して前記所定のパターンの像を第2面上に形成する集光光学系と、該集光光学系により形成された前記所定のパターンの像を光電的に検出する検出器と、を有し、該検出器の出力に基づいて前記被検面の面位置を検出する面位置検出装置において、前記第1面と前記被検面とは、前記投射光学系の主平面に関してシャインプルーフの条件を満たし、前記被検面と前記第2面とは、前記集光光学系の主平面に関してシャインプルーフの条件を満たすと共に、前記検出器の受光面と前記所定のパターンの像とを相対的に走査させる走査手段と、実質的に前記第2面上に配置され前記集光光学系からの光束を所定の方向に偏向するアオリ補正用の偏向部材と、を設け、該偏向部材の光束の射出面に近接して前記検出器の受光面を配置したことを特徴とする面位置検出装置。
IPC (7件)：
G01B 11/00
, G02B 5/04
, G02B 7/28
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00
, H01L 21/027
, G02B 21/26
G01B 11/00 B
, G02B 5/04 Z
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00 H
, G02B 21/26
, G02B 7/11 M
, H01L 21/30 526 B
