特許
J-GLOBAL ID:200903047339972291
有機ハロゲン化合物分解装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
藤田 考晴 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-377816
公開番号(公開出願番号):特開2003-175332
出願日: 2001年12月11日
公開日(公表日): 2003年06月24日
要約:
【要約】【課題】 プラズマの安定性が向上し、分解性能の安定性が向上する有機ハロゲン化合物分解装置を得る。【解決手段】 外管27と内管25とから成る二重管構造の放電管23と、外管27の一端に連通し、この外管27と同一中心に配設した円柱空間51と、円柱空間51に開口し、この円柱空間51の接線方向の供給路53に連通して、供給路53を通る反応ガスを円柱空間51に供給する供給口とを備えた有機ハロゲン化合物分解装置において、複数の供給口を、円柱空間51の円周方向に等間隔で配設した。
請求項(抜粋):
外管と内管とから成る二重管構造の放電管と、前記外管の一端に連通し該外管と同一中心に配設した円柱空間と、該円柱空間に開口し該円柱空間の接線方向の供給路に連通して該供給路を通る反応ガスを前記円柱空間に供給する供給口とを備えた有機ハロゲン化合物分解装置において、複数の前記供給口を、前記円柱空間の円周方向に等間隔で配設したことを特徴とする有機ハロゲン化合物分解装置。
IPC (5件):
B01J 19/08
, A62D 3/00
, B01D 53/34 ZAB
, B01D 53/70
, H05H 1/24
FI (5件):
B01J 19/08 E
, A62D 3/00
, H05H 1/24
, B01D 53/34 134 E
, B01D 53/34 ZAB
Fターム (24件):
2E191BA12
, 2E191BC01
, 2E191BD18
, 4D002AA21
, 4D002AA22
, 4D002BA02
, 4D002BA07
, 4D002DA05
, 4D002DA12
, 4D002DA35
, 4D002EA02
, 4G075AA03
, 4G075AA37
, 4G075AA65
, 4G075BA05
, 4G075BD09
, 4G075BD12
, 4G075CA26
, 4G075CA62
, 4G075DA02
, 4G075EB01
, 4G075EC21
, 4G075EE36
, 4G075FB06
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